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真空電鍍掉膜有那幾個方面?


發布時間:2019-06-17 11:53:26

      真空電鍍時產生掉膜的原因很多也很復雜。處理起來很棘手,可以考慮從以下幾個方面排除:

1、表面清潔度

產品表面潔凈度不夠,可以考慮離子源清洗時氬氣放大、時間長點。

真空電鍍掉膜有那幾個方面?


2、清洗過程中的問題

鍍前清洗不到位,或更換了清洗液。


3、工藝的問題

工藝參數是否有變動,在鍍膜時間和電流上做適當調整。


4、靶材的問題

鈦靶是否中毒,檢查和更換。


5、真空腔是否漏氣

進行一次撿漏。


6、產品表面氧化

氧化的原因很多,可以自行判斷處理。
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